半導體應用

在晶體的生成及離子植入處理過程中,因其製程必須在高温潔淨無塵環境下作業,石墨成為了最合適的材質,使用高純度的石墨及極為精密的加工技術,使半導體產業發展與石墨密不可分,是半導體產業極為關鍵的材料。


單晶硅生產用石墨-向尚碳精

單晶硅生產用石墨

離子植入用高純石墨-向尚碳精

離子植入用高純石墨

單晶硅生產用石墨-向尚碳精

MOCVD 石墨承載盤

MOCVD氣旋環-向尚碳精

MOCVD氣旋環

MOCVD部件-向尚碳精

MOCVD部件

石墨治具-向尚碳精

石墨治具

Proerty values R-6340 R-6500 R-6510 R-6650
Density g/cm3 1.72 1.77 1.83 1.84
Porosity(Open) % 15 14 10 10
Grain Size μm
15 10 10 7
Hradness Rockwell B 5/100 HRB
80 70 90 95
Young's mouldus Mpa 11000 10500 11500 12500
Flexural Strength Mpa
40 45 60 65
Compressive Strength Mpa
85 90 130 150
Specific electrical resistance
µΩm 16 12 13 14
Thermal expension x10-6K-1 3.2 4.2 4.2 4.1
Thermal conductivity
Wm-1K-1 105 90 105 95
Ash Value
ppm 100 100 100 100